上海福宜真空设备有限公司

上海福宜真空设备有限公司，是致力于真空镀膜设备、复杂镀膜工艺和真空设备核心部件的研发、生产、销售及技术服务的高新技术企业。公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射复合多弧离子镀镀膜设备、连续线式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、CVD和PECVD化学气相沉积设备、ICP刻蚀设备和ALD原子层沉积等系列真空镀膜和表面处理设备。 


 

公司创始人和核心技术团队，致力于复杂镀膜工艺的开发，镀膜工艺和设备集成的理论和实际相结合是公司发展的主要特色。相对于整机设备和镀膜工艺技术，国内核心部件的研究和制备技术水平与国外差距更大。公司投入超过1000万元，重点开发的核心部件主要有：高材料利用率（材料利用率超过40-60%以上）矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极（材料利用率达到80%以上）、线性离子源、多弧阴极、多弧过滤阴极和多弧旋转柱状阴极等。通过核心部件的研发，提升了公司整机设备的技术水平、性价比和核心竞争力，主要技术达到国际同期水平。 


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